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接觸式探針輪廓儀（ZBZXJJ20220118）采購(gòu)公告

信息發(fā)布日期：2022.04.22 標(biāo)簽： 四川省招標(biāo) 
加入日期：2022.04.22
地 區(qū)：四川省
內(nèi) 容： 項(xiàng)目名稱(chēng)接觸式探針輪廓儀項(xiàng)目編號(hào)ZBZXJJ******** 公告開(kāi)始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采購(gòu)單位**大學(xué)付款方式進(jìn)口設(shè)備： 甲方與所委托的進(jìn)口代理公司簽訂代理進(jìn)口委托協(xié)議后，將進(jìn)口項(xiàng)目貨款支付給代理公司指定的銀行賬
 
招標(biāo)公告正文

 

項(xiàng)目名稱(chēng) 接觸式探針輪廓儀 項(xiàng)目編號(hào) ZBZXJJ20220118
公告開(kāi)始日期 2022-04-18 11:42:43 公告截止日期 2022-04-21 12:00:00
采購(gòu)單位 四川大學(xué) 付款方式 進(jìn)口設(shè)備： 甲方與所委托的進(jìn)口代理公司簽訂代理進(jìn)口委托協(xié)議后，將進(jìn)口項(xiàng)目貨款支付給代理公司指定的銀行賬戶，項(xiàng)目貨款僅用于本進(jìn)口項(xiàng)目的信用證或TT付匯及進(jìn)口相關(guān)費(fèi)用等。進(jìn)口代理公司收到甲方合同貨款后，按外貿(mào)合同要求及時(shí)履行與乙方委托的境外代理公司的付款義務(wù)。 國(guó)產(chǎn)設(shè)備：甲方應(yīng)在完成驗(yàn)收并建立固定資產(chǎn)后向乙方一次性支付本合同的總款項(xiàng)，乙方須向甲方出具合法有效完整的完稅發(fā)票及憑證資料進(jìn)行支付結(jié)算。
聯(lián)系人*** 中標(biāo)后在我參與的項(xiàng)目中查看 聯(lián)系電話*** 中標(biāo)后在我參與的項(xiàng)目中查看
簽約時(shí)間要求 到貨時(shí)間要求 成交后90個(gè)工作日內(nèi)
預(yù)算總價(jià) ￥ 290,000.00
收貨地址 一環(huán)路南一段24號(hào)四川大學(xué)望江校區(qū)
供應(yīng)商資質(zhì)要求
符合《政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件
采購(gòu)清單1
采購(gòu)商品 采購(gòu)數(shù)量 計(jì)量單位 所屬分類(lèi)
接觸式探針輪廓儀 1 臺(tái) 電工器材
品牌 Bruker
型號(hào) Dektak-XT
預(yù)算單價(jià) ￥ 290,000.00
技術(shù)參數(shù)及配置要求 1、儀器功能及用途：
主要應(yīng)用于4-6英寸晶圓的薄膜厚度測(cè)量、表面形貌測(cè)量、應(yīng)力測(cè)量和平整度等精密測(cè)量。
2、技術(shù)指標(biāo)和性能要求：
★2.1產(chǎn)品規(guī)格：晶圓尺寸，支持100-150mm。
2.2測(cè)試工藝
★2.21垂直分辨率：1 ？（在6.5um范圍內(nèi)，以2um半徑探針驗(yàn)收。）
★2.22測(cè)試高度方向的重復(fù)性：1σ≤4 ？）（1σ在1μm標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階樣品上，使用半徑2μm探針，重復(fù)測(cè)量30次驗(yàn)收）。
★2.23設(shè)備核心傳感器：電感傳感器或者采用成熟的LVDT傳感器原理
3、硬件指標(biāo)：
3.1樣品臺(tái)
3.11尺寸：4-8寸可選。
3.12XY行程：100mm*100mm。
3.13掃描長(zhǎng)度：50μm-55mm。
3.14最大掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)：120000個(gè)。
3.15掃描速度：1μm -1500μm/s。
3.2探針偵測(cè)系統(tǒng)
3.21探針壓力范圍：1mg-15mg可調(diào)。
3.22垂直測(cè)量范圍：可達(dá)1mm。
★3.23探針校準(zhǔn)：設(shè)備可通過(guò)校準(zhǔn)治具自行完成校準(zhǔn)。
★3.3光學(xué)系統(tǒng)：310萬(wàn)像素真彩高清光學(xué)CCD攝像頭，可放大倍率
3.4軟件
3.41自動(dòng)臺(tái)階檢測(cè)軟件：自動(dòng)水平調(diào)整，自動(dòng)檢測(cè)臺(tái)階，自動(dòng)測(cè)量臺(tái)階高度和多重臺(tái)階數(shù)據(jù)綜合對(duì)比。
3.42應(yīng)力測(cè)試軟件：應(yīng)力測(cè)試功能。
4、主要配置要求 
4.1 主機(jī)基本配置
4.1.1 處理器： 64位雙核并行處理器；
4.1.2 CPU內(nèi)存4G，硬盤(pán)500G；
4.1.3 操作系統(tǒng)：windows 10或以上；
4.1.4具備存儲(chǔ)功能及數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能。
4.2 顯示系統(tǒng)
23＂（或以上）LCD顯示器
4.3 設(shè)備附屬備件
4.3.1校準(zhǔn)件一個(gè)，含校正證書(shū)；
4.3.2半徑2um探針1根；
*4.3.3探針快速更換配件；
4.4 安全性
*設(shè)備各種安全互鎖功能完善，包括但不限于漏電保護(hù)功能、漏水保護(hù)功能、腔體過(guò)溫保護(hù)功能等。
4.5 動(dòng)力要求
設(shè)備高度：不超過(guò)2.8米；
電力模式要求：三相五線制，3Ф208V50HZ/3Ф380V50HZ;單項(xiàng)三線制，220V50HZ/110V50HZ;
主機(jī)工藝?yán)鋮s水：（PCW）壓力不超過(guò)7kg/cm2 。進(jìn)水溫度在19±2℃；
壓縮空氣：壓力不超過(guò)115psi。
真空負(fù)壓：不超過(guò)-7.5bar。
4.5其他要求
設(shè)備廠商應(yīng)明確設(shè)備其他特殊需求，如環(huán)境、振動(dòng)、噪聲、接地等，建議配置減震臺(tái)。
售后服務(wù) 服務(wù)年限:12月;電話支持:7x24小時(shí);商品承諾:原廠全新未拆封正品;質(zhì)保期:一年;1. 投標(biāo)方提供的設(shè)備質(zhì)保期為1年。質(zhì)保期起始于設(shè)備完成調(diào)試驗(yàn)收。損壞的質(zhì)保備件造成的設(shè)備無(wú)法使用，該備件的質(zhì)保期順延，不包含探針。2. 質(zhì)保期內(nèi)，設(shè)備關(guān)鍵部件損壞更換連續(xù)2次以上，視同設(shè)備存在質(zhì)量問(wèn)題，用戶保留追訴的權(quán)利，不包含探針。3. 質(zhì)保期內(nèi)，設(shè)備廠商負(fù)責(zé)非易耗品及非易損件的提供以及人力的開(kāi)支。4. 維修響應(yīng)時(shí)間質(zhì)保期內(nèi)，設(shè)備如有故障，要求供應(yīng)商24小時(shí)內(nèi)電話響應(yīng)，如有必要，72小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)解決問(wèn)題。5. 軟件升級(jí)所有測(cè)試軟件為原廠正版，終身軟件免費(fèi)升級(jí);
四川大學(xué)
2022-04-18 11:42:43
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