金屬晶圓濕法刻蝕臺采購公告
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公告摘要
各有關單位請于2022.09.26前與公告中聯系人聯系，及時參與投標等相關工作，以免錯失商業(yè)機會。
部分信息內容如下：（查看詳細信息請登錄）
項目編號：XC********
根據《****采購管理辦法（試行）》和《****貨物和服務快速采購實施細則》，****微電子學院因教學、科研需要，現以上大迅采方式采購金屬晶圓濕法刻蝕臺。
一、供應商資質要求
*、符合政府采購法第二十二條之供應商資格規(guī)定。
*、供應商未被列入“信用中國”網站（www.creditchina.gov.cn）失信執(zhí)行人名單、重大稅收違法案件當事人名單，和中國政府采購網（www.ccgp.gov.cn）政府嚴重違法失信行為記錄名單的供應商。
二、項目概況項目編號： XC********項目名稱：金屬晶圓濕法刻蝕臺 預算金額：******元 第一輪公告及報價響應時間：****-**-** **:**:** ~ ****-**-** **:**:** 第二輪公告及報價響應時間：****-**-** **:**:** ~ ****-**-** **:**:**（如有）（以****采招辦官網首頁各項目顯示的倒計時截止時間為準，如第一輪已完成響應提交的，無需在第二輪重復提交） 交貨期：***日 交貨地點：上大**校區(qū)微電子學院*號超凈間 承辦人：花永盛 聯系電話：***-******** 采購需求聯系人：任青華 聯系電話：***********【迅采公告特別提示】
*、所有響應供應商所提交的支撐材料均須加蓋紅色供應商公章（供應商公章為黑色復印件的不予認可），否則視為無效材料。
*、所有響應供應商如對于已發(fā)布的迅采公告中的技術參數、服務需求、公告附件中的內容有疑問的，請在響應前聯系采購需求聯系人進行充分的溝通和交流。如成交供應商因未聯系采購需求人導致對于采購需求存在重大誤解而未能在指定期限內保質保量交付或完成的，采購人有權向成交供應商追究責任并要求支付賠償金。（適用于除家具以外的貨物類與服務類項目）
*、由于家具類項目較為特殊、如本項目為家具類項目，響應供應商原則上應當在響應前主動聯系采購需求聯系人，充分了解項目相關需求，必要時采購需求聯系人可要求潛在供應商在響應前現場實地踏勘或測量等。如成交供應商因未聯系采購需求人導致對于采購需求存在重大誤解而未能在指定期限內保質保量交付并完**裝驗收的，采購人有權向成交供應商追究責任并要求支付賠償金。（適用于家具類項目）
*、如本迅采項目需求文件中提到公告附件的，供應商需要先在采購管理系統中進行注冊，注冊成功并報名本項目后，可在本項目的響應界面查詢并下載其公告附件。
*、供應商響應時的響應操作、響應說明、加蓋公章的附件證明須保持完全一致，如有不一致的，以加蓋公章的附件證明為準。 采購清單 采購內容/設備名稱 參考品牌 規(guī)格配置 明細預算（人民幣/元） 采購數量 計量單位 總價 金屬晶圓濕法刻蝕臺 *.設備包含：*個金屬晶圓刻蝕臺、*個金屬晶圓制備臺*.金屬晶圓刻蝕臺包含：*個獨立刻蝕槽、*個備用槽、*個QDR槽、*個沖洗槽工件規(guī)格：最大*寸晶圓*.每個獨立槽體：*） 材質為PTFE*） 功能：浸泡和加熱*） 介質：金屬刻蝕液*） 溫度可控范圍：室溫-**°C，溫控精度±*℃*） 內槽尺寸：≥*** ×*** ×*** mm*） 配有PTFE或PP槽蓋*） 排液方式：通過重力直排至廠務端*. 金屬晶圓制備臺包含： *個沉積槽工件規(guī)格：最大*寸晶圓產能：*寸最多*片/籃 沉積槽：*） 材質為PTFE或PP*） 主要功能：金屬沉積，具備浸泡、加熱、擺動、循環(huán)過濾*） 藥液溫度：RT～**℃，溫控范圍RT～**℃可調，溫控精度±*℃*） 循環(huán)采用磁力泵循環(huán)**～**L/min ****** * 臺 ****** 技術參數 參數名稱 是否需要附件證明 評分等級 參數說明 設備組成 是 核心指標 設備包含*套金屬晶圓刻蝕臺、*套金屬晶圓制備臺。 (供應商響應時需要提供對應技術參數公開發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產品說明書等材料予以佐證，響應時直接復制需求說明文字作為響應材料的，視為沒有實質性響應，將被判定為無效響應。) 金屬晶圓刻蝕臺包含 是 核心指標 *個獨立金屬（Au/Ti/Mo）刻蝕槽、*個備用金屬刻蝕槽、*個QDR清洗槽、*個沖洗槽。被清洗工件規(guī)格:最大*寸晶圓片，向下兼容。產能：*寸，*籃，*-**片/籃； *寸 *籃 *-*片。(供應商響應時需要提供對應技術參數公開發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產品說明書等材料予以佐證，響應時直接復制需求說明文字作為響應材料的，視為沒有實質性響應，將被判定為無效響應。) 每個獨立刻蝕槽體 是 核心指標 *個工藝獨立刻蝕槽和*個備用刻蝕槽。*）材質采用PTFE焊接成型；*）工藝槽和備用槽功能:浸泡和加熱；*）介質：金屬刻蝕液；*）溫度可控范圍：室溫-**°C可調，溫控精度±*℃；*）液位：N*液位偵測，控制液位高度，確保槽體有液工作；*）內槽尺寸（約）：L×W×H≥*** mm×*** mm×*** mm；*）配有PTFE或PP槽蓋；*）可設定處理時間；*）排液方式:通過重力直排至廠務端。(供應商響應時需要提供對應技術參數公開發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產品說明書等材料予以佐證，響應時直接復制需求說明文字作為響應材料的，視為沒有實質性響應，將被判定為無效響應。) 金屬晶圓制備臺包含 是 核心指標 *個沉積槽。工件規(guī)格:最大*寸晶圓。產能：*寸最多*片/籃 。沉積槽:*）材質為PTFE或PP；*）主要功能:金屬沉積，具備浸泡、加熱、擺動、循環(huán)過濾；*）藥液溫度:RT～**℃，溫控范圍RT～**℃可調，使用精準溫控儀表控制，通過PID控制方式，溫控精度±*℃，顯示精度*.*℃；*）循環(huán)過濾：循環(huán)采用磁力泵循環(huán)**～**L/min，配置*英寸PP過濾器，過濾精度*μm； *）內槽尺寸：≥*** mm×*** mm×*** mm；*）陽極：特制陽極板，改善沉積過程中的電力線分布，進一步提高沉積層一致性；*）電源：采用雙脈沖電源。(供應商響應時需要提供對應技術參數公開發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產品說明書等材料予以佐證，響應時直接復制需求說明文字作為響應材料的，視為沒有實質性響應，將被判定為無效響應。) QDR槽 是 核心指標 數量：*套*）材質采用PTFE焊接成型或**mm厚純天然聚丙烯（PP-N）；*）槽體功能:噴淋 溢流 鼓泡 快排；*）清洗時間可設定；*）內槽尺寸（約）：L×W×H≥*** mm×*** mm×*** mm；*）配有PTFE或PP槽蓋；*）上液排液方式：自動氣動閥控制；*）鼓泡：槽體配N*鼓泡管路，有效加強清洗效果；*）溢流功能：槽體周邊波浪形溢流口，確保槽內污水四面均勻溢出；*）工藝流程：在觸摸屏里將（噴淋 溢流 鼓泡 快排）模塊化設計，每個工序時間客戶可在*～****S內自由設定，并且此模塊程序可以設定重復次數，以達到清洗效果，模塊工藝時間到，伴隨聲光報警提示。(供應商響應時需要提供對應技術參數公開發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產品說明書等材料予以佐證，響應時直接復制需求說明文字作為響應材料的，視為沒有實質性響應，將被判定為無效響應。) 沖洗槽 是 非核心指標 *） 材質：PTFE或**mm厚PP-N；*）槽體功能：沖洗；*）內槽尺寸（約）：L×W×H≥*** mm×*** mm×*** mm；*）配有PTFE或PP槽蓋；*）排液方式：自動氣動閥控制；*）介質：DIW。(供應商響應時需要提供對應技術參數公開發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產品說明書等材料予以佐證，響應時直接復制需求說明文字作為響應材料的，視為沒有實質性響應，將被判定為無效響應。) 金屬晶圓刻蝕臺-分布布局 是 非核心指標 *）使用隔斷將所有槽體隔開；*）預留臺面操作空間，尺寸≥***mm×***mm；*) 水槍至少一個，水龍頭至少一個，氮氣槍至少一個；*）抽風系統和安全保護系統。(供應商響應時需要提供對應技術參數公開發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產品說明書等材料予以佐證，響應時直接復制需求說明文字作為響應材料的，視為沒有實質性響應，將被判定為無效響應。) 金屬晶圓刻蝕臺 是 非核心指標 *) 節(jié)拍：*-**min可調；*) 管路：管路位于機臺下/后部，管道采用PPH和PFA管路相互配合使用；*) 排風：根據流體學原理設計位于機臺后上部；*) 工作照明：機臺頂部配防腐防爆白光照明；*) 開門樣式：PP 透明PVC上下推拉門；*) 安全防護*.*) 漏電保護：設備整機設有防漏電斷路保護裝置；*.*) 漏液檢測：設備管路區(qū)安裝漏液檢測傳感器；*.*) 防漏裝置：設備底部安裝*mm厚PP防漏托盤，有效防止設備漏液損害廠務地板；*.*) 操作臺面為漏空臺面，臺面易拆卸，臺面下有接水盤，打開漏空臺面，槽體可從工作面取出；*.*) 線路保護：設備采用耐腐蝕導線并通過耐腐蝕PE管進行保護，防腐防水；*.*) 電器保護：電控部分正壓N*保護,有效防止防腐；*) 緊急及警報系統：設備有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統。(供應商響應時需要提供對應技術參數公開發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產品說明書等材料予以佐證，響應時直接復制需求說明文字作為響應材料的，視為沒有實質性響應，將被判定為無效響應。) 金屬晶圓制備臺 是 非核心指標 *）節(jié)拍：*-**min可調；*）管路：管路位于機臺下/后部，管道采用PPH和PFA管路相互配合使用；*）DI/N* GUN：設備配PP N* Gun ，DIW Gun各*把；*）安全防護*.*）漏電保護：設備整機設有防漏電斷路保護裝置；*.*）漏液檢測：設備管路區(qū)安裝漏液檢測傳感器；*.*）防漏裝置：設備底部安裝*mm厚PP防漏托盤，有效防止設備漏液損害廠務地板；*.*）操作臺面為漏空臺面，臺面易拆卸，臺面下有接水盤，打開漏空臺面，槽體可從工作面取出；*.*) 線路保護：設備采用耐腐蝕導線并通過耐腐蝕PE管進行保護，防腐防水；*.*) 電器保護：電控部分正壓N*保護,有效防止防腐；*.*) 緊急及警報系統：設備有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統；沉積槽：*）進液方式：手動上液；*）加熱方式：采用浸入式PTFE加熱器加熱；*）液位保護：槽體配置高中低液位傳感器，確保加熱安全；*）掛具：圓片采用圓周均布多點式接電方式； *）擺動功能：陰極掛架可水平擺動，擺動行程**mm，擺動頻率*-**次/分鐘連續(xù)可調，調整方式為手動電位器調整，采用精研減速機控制；*）藥液注入方式：人工注入，直接倒入沉積槽；*）沉積槽液位：具有高低液位開關，防止干燒，高液位控制自動注水停止；*）沉積槽藥液排放：通過操作觸摸屏控制氣控閥重力排放到設備后部獨立排放接口；*）回收泵：配置PP氣動隔膜泵將藥液打進回收桶內；**）槽蓋：配置透明PVC槽蓋，配充N*保護。(供應商響應時需要提供對應技術參數公開發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產品說明書等材料予以佐證，響應時直接復制需求說明文字作為響應材料的，視為沒有實質性響應，將被判定為無效響應。) 每個獨立刻蝕槽體 是 非核心指標 *）介質：金屬刻蝕液；*）藥液溫度控制：使用精準溫控儀表控制，通過PID控制方式，溫控精度±*℃，顯示精度*.*℃；*）進液方式：手動上液；*）加熱方式：浸入式板式加熱器加熱；*）液位：N*液位偵測，控制液位高度，確保槽體有液工作；*）槽蓋：配置PP-N手動槽蓋，防止停機污染。(供應商響應時需要提供對應技術參數公開發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產品說明書等材料予以佐證，響應時直接復制需求說明文字作為響應材料的，視為沒有實質性響應，將被判定為無效響應。) 資質要求 要求名稱 是否需要附件證明 要求說明 營業(yè)執(zhí)照（三證合一） 是 請上傳相關證明材料(須加蓋供應商公章) 信用中國證明 是 信用信息報告日期最早應為本項目迅采公告發(fā)布之日(須加蓋供應商公章) 商務要求 要求名稱 是否需要附件證明 要求說明 評分內容 同類業(yè)績 是 供應商需提供近*年（自****年*月起至今）同類設備的銷售合同，其中需體現合同的簽約主體、銷售設備名稱、簽訂日期等合同要素的相關內容。同類業(yè)績合同供應商需分列填報上傳，合并文件填報或集中填報在同一格子內的算*份業(yè)績。 培訓計劃 是 供應商完成設備的調試后，負責在 ** 個工作日內完成對采購方有關人員進行使用培訓，培訓在采購方場地內進行。培訓內容應至少包括：設備的操作使用和保養(yǎng)、使用過程中的安全注意事項、簡易故障排除，以采購方受培訓人員掌握相關內容為準。要求指導用戶用樣品進行現場實際操作。 質保期 是 自到貨并驗收合格之日起，最低要求質保期*年。 *年*年*年及以上 付款方式 是 付款方式:銀行保函，合同簽訂后，供應商需在銀行辦理合同總金額**%押金擔保手續(xù)，采購方收到**%貸款金額的銀行保函后，向供應商支付***%貸款。銀行保函中**%的金額在貨到后退還，**%在驗收合格并簽署驗收報告后退還。 交貨期 是 在簽訂合同后***日內交貨。 三、質量保證與售后服務（貨物類）
*、質保期為自用戶簽署最終驗收報告之日起，在質保期間出現故障，供應商在接收到用戶通知后于*小時以內予以回應、提出解決方案，*小時內維修人員到場，**小時排除故障（特殊情況和不可抗拒因素除外）。在此期間，設備發(fā)生任何非誤操作造成的故障和損壞，均由供應商負責免費修復，失效零件予以免費更換，更換時所發(fā)生的費用均由供應商負擔。質量保證期內，停機待修時間不得超過一個月，若超過一個月，則保修期**待機時間的*倍。同時，提供軟件免費升級。
*、貨物到達學校后*天內由供應商負責免費安裝、調試與技術培訓，調試儀器所需耗材由供應商自行負擔。儀器安裝、調試時進行現場軟硬件使用的培訓：參與培訓人員*～*人；內容：設備的工作原理、操作步驟、正常維護和應用等，使培訓人員能夠正確、熟練操作及掌握儀器簡易的故障判別及排除、維修。培訓人員必須為供應商公司專職技術人員，不得派出學生或供應商用戶等非公司專職技術人員提供培訓，否則用戶方將拒絕接受。
*、 供應商根據合同提供的貨物應是全新的未使用過的而且是符合國家有關制作標準和環(huán)保要求。供應商提供詳細的中文操作、維護指南。
*、 定期維護，終身保修，只收取零部件成本費。
四、供應商須知
*、供應商須先完成并通過供應商注冊，方可進行響應。注冊網址：http://czb.shu.edu.cn/
*、供應商應具有連續(xù)多年從事該設備生產或銷售經歷，并有良好的聲譽，且能提供良好的技術支持。
*、供應商應完全按照標書規(guī)定的設備名稱、技術要求、數量報價、供貨，我方不接受不確定報價。
*、供應商應保證隨設備提供必要的安裝、調試、培訓、維修等服務，并提供合同所約訂的免費維修時間及終身成本維修。
*、響應報價中標明的價格或在評審后確定的價格在合同執(zhí)行過程中是固定不變的（除非采購人對設備提出新的要求）不得以任何理由予以變更。
*、供應商應在響應文件中注明貨物的交貨期。
*、若成交供應商的報價超出本次項目的經費預算，采購人有取消本次采購的權利。
*、供應商須登錄上大迅采系統對每一項要求項進行一一響應，提交證明和支撐材料（加蓋單位公章），無證明和支撐材料視為沒有響應。
*、響應供應商須保證所提交的響應文件、資料的內容真實、完整、有效、一致，如遞交虛假的響應文件、資料或填寫信息錯誤導致的與本項目有關的任何損失由供應商承擔。
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注冊供應商庫 ，注冊成功并審核通過后才能報名。 點擊下載操作手冊 報價網址：https://bidding.shu.edu.cn/
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